MOQ: | 1 stuk |
Prijs: | US $ 15/PC |
Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
Leveringstermijn: | 15 dagen |
Betalingswijze: | L/C, T/T |
Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolfraamhexafluoride (WF6) is een chemische verbinding die bestaat uit wolfraam- en fluoratoomen.Het is een kleurloos gas bij kamertemperatuur en wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie voor het chemische stofafzettingsproces (CVD) om dunne wolfraamfilms af te leggen.
Hier zijn enkele belangrijke punten over wolfraamhexafluoride gas:
Basis informatie.
Model nr. | WF6 | Transportpakket | Cylinder |
Specificatie | 10 l/15 kg | Handelsmerk | CMC |
Oorsprong | Suzhou, China | HS-code | 2812190091 |
Productiecapaciteit | 200 t/jaar |
Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
- Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
- Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
MOQ: | 1 stuk |
Prijs: | US $ 15/PC |
Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
Leveringstermijn: | 15 dagen |
Betalingswijze: | L/C, T/T |
Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolfraamhexafluoride (WF6) is een chemische verbinding die bestaat uit wolfraam- en fluoratoomen.Het is een kleurloos gas bij kamertemperatuur en wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie voor het chemische stofafzettingsproces (CVD) om dunne wolfraamfilms af te leggen.
Hier zijn enkele belangrijke punten over wolfraamhexafluoride gas:
Basis informatie.
Model nr. | WF6 | Transportpakket | Cylinder |
Specificatie | 10 l/15 kg | Handelsmerk | CMC |
Oorsprong | Suzhou, China | HS-code | 2812190091 |
Productiecapaciteit | 200 t/jaar |
Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
- Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
- Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |