|
| MOQ: | 1 stuk |
| Prijs: | US $ 15/PC |
| Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
| Leveringstermijn: | 15 dagen |
| Betalingswijze: | L/C, T/T |
| Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolframhexafluoride gas, ook wel bekend als WF6, is een chemische verbinding bestaande uit één wolfraamatoom en zes fluoratoomen.Wolfraamhexafluoride wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie voor de afzetting van wolfraamdunne folies bij de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen en andere elektronische apparaten.
Hier zijn enkele belangrijke punten over wolfraamhexafluoride gas:
Afzetting van wolfraamfilms: wolfraamhexafluoride wordt veel gebruikt als voorlopergas in chemische dampafzettingsprocessen (CVD) om dunne wolfraamfilms af te leggen.Deze folies dienen als geleidende lagen bij de fabricage van micro-elektronica, zoals transistors, interconnecten en poortelektroden.
Hoge zuiverheid en stabiliteit: WF6-gas is meestal verkrijgbaar in hoogzuivere soorten om de kwaliteit en integriteit van de afgezette wolfraamfolie te waarborgen.die een gecontroleerde en uniforme filmgroei mogelijk maakt onder specifieke procesomstandigheden.
CVD-proces: Tijdens het CVD-proces wordt wolfraamhexafluoride gas samen met een reductiemiddel, zoals waterstofgas, in een afzettingskamer ingevoerd.De WF6-moleculen ontbinden bij verhoogde temperaturen, waarbij wolfraamatomen op gecontroleerde wijze op het substraatoppervlak worden afgezet.
Veiligheidsoverwegingen: wolfraamhexafluoride is een zeer giftig en corrosief gas dat zorgvuldig moet worden behandeld en opgeslagen.Gepaste veiligheidsmaatregelen, met inbegrip van het gebruik van gespecialiseerde uitrusting en beschermingsmiddelen, zijn essentieel bij het werken met WF6.
Milieueffect: net als andere gefluoreerde verbindingen kan wolfraamhexafluoride bijdragen aan milieuproblemen.Voor het voorkomen van het vrijkomen in het milieu zijn zorgvuldige beheers- en verwijderingspraktijken noodzakelijk.
Het is belangrijk op te merken dat wolfraamhexafluoride gas voornamelijk wordt gebruikt in industriële en gespecialiseerde toepassingen en dat de behandeling ervan deskundigheid en naleving van veiligheidsprotocollen vereist.
| Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| - Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| - Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
|
|
| MOQ: | 1 stuk |
| Prijs: | US $ 15/PC |
| Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
| Leveringstermijn: | 15 dagen |
| Betalingswijze: | L/C, T/T |
| Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolframhexafluoride gas, ook wel bekend als WF6, is een chemische verbinding bestaande uit één wolfraamatoom en zes fluoratoomen.Wolfraamhexafluoride wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie voor de afzetting van wolfraamdunne folies bij de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen en andere elektronische apparaten.
Hier zijn enkele belangrijke punten over wolfraamhexafluoride gas:
Afzetting van wolfraamfilms: wolfraamhexafluoride wordt veel gebruikt als voorlopergas in chemische dampafzettingsprocessen (CVD) om dunne wolfraamfilms af te leggen.Deze folies dienen als geleidende lagen bij de fabricage van micro-elektronica, zoals transistors, interconnecten en poortelektroden.
Hoge zuiverheid en stabiliteit: WF6-gas is meestal verkrijgbaar in hoogzuivere soorten om de kwaliteit en integriteit van de afgezette wolfraamfolie te waarborgen.die een gecontroleerde en uniforme filmgroei mogelijk maakt onder specifieke procesomstandigheden.
CVD-proces: Tijdens het CVD-proces wordt wolfraamhexafluoride gas samen met een reductiemiddel, zoals waterstofgas, in een afzettingskamer ingevoerd.De WF6-moleculen ontbinden bij verhoogde temperaturen, waarbij wolfraamatomen op gecontroleerde wijze op het substraatoppervlak worden afgezet.
Veiligheidsoverwegingen: wolfraamhexafluoride is een zeer giftig en corrosief gas dat zorgvuldig moet worden behandeld en opgeslagen.Gepaste veiligheidsmaatregelen, met inbegrip van het gebruik van gespecialiseerde uitrusting en beschermingsmiddelen, zijn essentieel bij het werken met WF6.
Milieueffect: net als andere gefluoreerde verbindingen kan wolfraamhexafluoride bijdragen aan milieuproblemen.Voor het voorkomen van het vrijkomen in het milieu zijn zorgvuldige beheers- en verwijderingspraktijken noodzakelijk.
Het is belangrijk op te merken dat wolfraamhexafluoride gas voornamelijk wordt gebruikt in industriële en gespecialiseerde toepassingen en dat de behandeling ervan deskundigheid en naleving van veiligheidsprotocollen vereist.
| Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| - Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| - Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
