|
| MOQ: | 1 stuk |
| Prijs: | US $ 15/PC |
| Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
| Leveringstermijn: | 15 dagen |
| Betalingswijze: | L/C, T/T |
| Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolfraamhexafluoride (WF6) is een chemische verbinding die bestaat uit één wolfraamatoom en zes fluoratoomen.Wolframhexafluoride is zeer reactief en kan hevig reageren met water of vocht in de lucht, waardoor giftig waterstoffluoride gas vrijkomt.
Toepassingen van wolfraamhexafluoride omvatten het gebruik ervan als precursor voor het deponeren van wolfraamfilms in halfgeleiderproductieprocessen.Het wordt vaak gebruikt in chemische dampdepositie (CVD) technieken om dunne films van wolfraam voor verschillende toepassingen te makenHet is de voorkeur voor wolfraamhexafluoride in deze processen vanwege de hoge dampdruk, die een efficiënte afzetting mogelijk maakt.
Het is echter belangrijk om wolfraamhexafluoride met voorzichtigheid te hanteren en op te slaan vanwege zijn reactiviteit en toxiciteit.met inbegrip van het gebruik van passende beschermingsmiddelen en manipulatieprocedures, moet worden gevolgd bij het werken met deze verbinding.
| Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| - Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| - Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
|
|
| MOQ: | 1 stuk |
| Prijs: | US $ 15/PC |
| Standaardverpakking: | Cylinder/tank |
| Leveringstermijn: | 15 dagen |
| Betalingswijze: | L/C, T/T |
| Toeleveringskapaciteit: | 200 ton/jaar |
Wolfraamhexafluoride (WF6) is een chemische verbinding die bestaat uit één wolfraamatoom en zes fluoratoomen.Wolframhexafluoride is zeer reactief en kan hevig reageren met water of vocht in de lucht, waardoor giftig waterstoffluoride gas vrijkomt.
Toepassingen van wolfraamhexafluoride omvatten het gebruik ervan als precursor voor het deponeren van wolfraamfilms in halfgeleiderproductieprocessen.Het wordt vaak gebruikt in chemische dampdepositie (CVD) technieken om dunne films van wolfraam voor verschillende toepassingen te makenHet is de voorkeur voor wolfraamhexafluoride in deze processen vanwege de hoge dampdruk, die een efficiënte afzetting mogelijk maakt.
Het is echter belangrijk om wolfraamhexafluoride met voorzichtigheid te hanteren en op te slaan vanwege zijn reactiviteit en toxiciteit.met inbegrip van het gebruik van passende beschermingsmiddelen en manipulatieprocedures, moet worden gevolgd bij het werken met deze verbinding.
| Testpunten | Eenheden | Kwaliteitsvereisten | Testresultaten |
| CF4 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| O2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| CO | ppm | < 0.5 | < 0.02 |
| CO2 | ppm | < 0.5 | < 0.01 |
| SiF4 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| SF6 | ppm | < 0.5 | < 0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Al | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| B. | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| Ca. | ppb | ≤ 5 | < 0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0.001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0.007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0.100 |
| Deeltjes | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| - Nee. | ppb | ≤ 5 | < 0.040 |
| De | ppb | ≤ 0.1 | < 0.001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0.002 |
| U | ppb | ≤ 0.05 | < 0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0.005 |
| - Jawel. | ppb | ≤ 10 | < 0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0.300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0.020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0.030 |
| C. | ppb | ≤ 5 | < 0.005 |
| Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0.001 |
| Totale onzuiverheden van ander metaal | ppb | ≤ 500 | < 0.0010 |
